【時間】2023年4月6日（周四）14：30 開始

【地點】線下講座，9A103會議室

【主題】結構光照明高精度測量方法及其應用

【主講人介紹】：謝仲業，拔尖青年博士，特聘副教授，主要從事三維精密測量研究。

【内容簡介】 基于結構光調制度解析的三維測量方法具有高精度、非接觸、高适應性等優點，在微納器件形貌檢測領域中應用廣泛。 本報告主要講述結構光照明三維測量方法的基本原理、發展趨勢。在應用層面，本報告聚焦集成電路及新型顯示中的核心部件掩膜缺陷檢測問題，針對原有二維測量方法易出現漏檢等問題，提出基于結構光調制結合橫向掃描的掩膜缺陷檢測方法，快速獲得掩膜缺陷三維形貌數據，為缺陷檢測提供可靠依據。

誠摯歡迎廣大師生參加。