2023年4月6日下午，智能自動化學科系列學術交流會議在9A103如期舉行。交流會由秦世引教授主持，吸引了來自光電學科的研究生；學科教師與部分研究生參加本次學術報告會。

謝仲業博士分享了主題為“結構光照明高精度測量方法及其應用”的報告，基于結構光調制度解析的三維測量方法具有高精度、非接觸、高适應性等優點，在微納器件形貌檢測領域中應用廣泛。本報告主要講述結構光照明三維測量方法的基本原理、發展趨勢。在應用層面，本報告聚焦集成電路及新型顯示中的核心部件掩膜缺陷檢測問題，針對原有二維測量方法易出現漏檢等問題，提出基于結構光調制結合橫向掃描的掩膜缺陷檢測方法，快速獲得掩膜缺陷三維形貌數據，為缺陷檢測提供可靠依據。

與會老師就報告中如何實現複雜微納結構動态測量的實驗方案、結構光掃描技術産業化的前景及空域相移方法在光滑曲面結構檢測的應用與謝博士展開了深入的探讨。

結構光照明高精度測量方法及其應用研究報告會

（撰稿：王福傑；初審：李豔霞；複審：秦世引；終審：胡耀華）